Вакуумный затвор – это конструктивный элемент вакуумной системы, с помощью которого изолируют определенные участки, герметизируют окно клапана. Такие детали обычно состоят из подвижного диска с уплотнительным элементом, обеспечивающим прижатие к поверхности и отсечение потока газа.
Содержание:
Особенности вакуумных затворов
С помощью таких устройств осуществляют регулировку потока газа в вакуумной системе за счет закрытия и открытия затворного механизма. Данный элемент состоит из привода, затворного механизма, корпуса. Под влиянием привода начинает двигаться затворный механизм, открывающий или перекрывающий порты. Корпус представлен в виде герметичной вакуумной камеры. Ее присоединяют к главной системе за счет фланцев.
При использовании затвора его тарелку перемещают в положении перпендикулярном движению газа. Это позволяет при необходимости достичь максимальных показателей проводимости. Такие устройства наиболее популярны в процессах, требующих применение турбомолекулярного оборудования. Приводы в вакуумных затворах встречаются разных типов. Рабочей средой внутри конструкции может выступать воздух или газы, не оказывающие агрессивного воздействия на материалы изделия.
Особенности вакуумных затворов
Фланца на затворах могут иметь разный размер, а также крепления в соответствии с международными стандартами. Обычно используются варианты, принятые в европейских странах. В зависимости от того, какой привод и фланец использовали, затвор может срабатывать с разной скоростью.
Распространенные типы
Существуют различные варианты и конструктивные решения таких устройств. В них определенным способом увеличивают ресурс работы, добавляют систему водяного охлаждения, особые фланцы, которые подбирают с учетом сложности технологического процесса. Встречаются изделия, в составе которых присутствуют датчики положения и другие дополнительные элементы, за счет чего и работает затвор с любым типом привода.
Для изготовления уплотнительных элементов используют полимеры или металл. Чаще всего предпочтение отдают тарельчатым клапанам. Они представлены в виде уплотнительного диска или наконечника, который присоединяют к штоку. Герметичности и закрытия конструкции достигают за счет того, что наконечник насаживается на седло клапана. Если необходимо открыть клапан, шток поднимается, благодаря чему наконечник оттягивается от седла.
Распространенные типы
Тарельчатыми клапанами пользуются в трубопроводах, которые имеют прямоугольное или рядное положение окон. В некоторых кланах, имеющих рядную конструкцию, газ продвигается по прямой или сквозной траектории.
Также популярностью пользуются следующие варианты затворов:
- Портативные. Особенность таких изделий в наличии ручного или пневматического привода со стандартными фланцами. Особенность подобных вариантов в небольших размерах. Самые большие из них имеют высоту не более 32,7 см. Также в составе конструкции есть двухрядные радиальные шариковые подшипники, за счет которых рабочий механизм плавно передвигается и обеспечивает стабильное функционирование устройства. Если рабочий процесс требует чистоты, то прибегают к сильфонному уплотнению штока, который не нуждается в применении смазки;
- Большие. Размеры данных конструктивных элементов составляют до 3000 мм. Их параметры заказчик может менять в зависимости от сложности рабочего процесса. Для изготовления корпуса используется нержавеющая или углеродистая сталь. Большие затворы в большинстве случаев оснащают электромеханическим приводом. В них встречаются трехфазные двигатели или двигатели переменного тока. Такие устройства отличаются эффективным режимом торможения, что позволяет достичь минимальной ударной нагрузки. За счет особенностей конструкции изделие издает минимальный шум и практически не вибрирует. Чтобы повысить показатели герметичности и снизить уровень течи, оборудование могут оснащать динамическими винтовыми уплотнениями;
- Специального назначения. Обычно, такие затворы выпускают в соответствии с пожеланиями заказчика по предварительно согласованной схеме. В них может присутствовать водяное охлаждение, если предполагается эксплуатация в условиях повышенных температур. Чаще всего такими затворами пользуются в вакуумных печах. В них может быть ручной или пневматический привод;
- Прямоугольные. Они могут иметь разные размеры и пневматический привод. Без них не обходится полупроводниковая промышленность. В составе конструкции присутствуют качающиеся рычаги, благодаря которым равномерно распределяется нагрузка, и снижаются механические повреждения. Благодаря узкопрофильной конструкции затвор можно размещать компактно, что позволяет эффективно использовать все рабочее пространство.
Такие устройства выбирают в зависимости от будущей сферы применения, температурных условий и объема производственного процесса. При необходимости конструкцию специально изготовляют под определенные условия.