| Z-ось | 2 регулируемых концевых упора |
| Базовый фланец | DN 63 CF |
| Возможность точной настройки X, Y, Z, мм | Z = 0,01 |
| Габаритные размеры, мм | (140-340)x513 |
| Диапазон измерения, мбар | 1000 - 10^(-11) |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Материал | Нержавеющая сталь 304 |
| Мембранный сильфон ID ход по Z, мм | 70,5 |
| Модель | LD-63-200 |
| Назначение | Промышленный |
| Подвижный фланец | DN 63 CF |
| Разработка | ConFlat |
| Серия | Y |
| Скорость утечки, мбар/сек | 1x10^(-10) |
| Температура выпекания, °C | 230 |
| Фланцевые отверстия, мм | На разрыв |
| Ход, мм | 200 |
| Шаг шпинделя по оси Z, мм | 4 |
| Вес, кг | 12,2 |
| Страна | Германия |
| Производитель | Demaco |
