| Базовый фланец | 152,4 мм CF |
| Габаритные размеры, мм | 307,98x163,22 |
| Диапазон измерения, мбар | 1x10^(-10) |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Мембранный сильфон ID, мм | 101,6 |
| Модель | MZ-600-400-4 |
| Назначение | Промышленный |
| Ориентация | Любая |
| Подвижный фланец | 152,4 мм CF |
| Серия | Z |
| Температура выпекания, °C | 150 |
| Температурный режим, °С | 20 |
| Ход по Z, мм | 101,6 |
| Страна | США |
| Производитель | Nor-Cal Products |
