| Базовый фланец | 152,4 мм CF |
| Диаметр трубы, мм | 9,53 |
| Диапазон измерения, мбар | 1x10^(-10) |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Мембранный сильфон ID, мм | 47,63 |
| Модель | PMXYZ-600-1-87-2-ST-38 |
| Назначение | Промышленный |
| Ориентация | Любая; максимальная полезная нагрузка 10 фунтов при горизонтальной установке |
| Подвижный фланец | 69,85 мм CF |
| Серия | XYZ |
| Температура выпекания, °C | 150 |
| Температурный режим, °С | 20 |
| Ход по XY, мм | +-12,7 |
| Ход по Z, мм | 50,8 |
| Страна | США |
| Производитель | Nor-Cal Products |
