| Время разгона ротора, мин | 6 |
| Вход и выход | VG100/CF100/ISO-R100 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4x10^3 |
| Модель | TG203 |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-9) |
| Серия | TG |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 200 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 150 |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 11 |
| Страна | Япония |
| Производитель | Osaka Vacuum |