| Внутренний диаметр, мм | 102 |
| Габаритные размеры, мм | (190-390)x510x176 |
| Герметичность | 1x10^(-10) |
| Диаметр трубы, мм | DN 100 CF |
| Диапазон действия | 200 |
| Диапазон измерения, мбар | 1x10^(-10) - до давления окружающей среды |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Материал | Нержавеющая сталь |
| Модель | 420MZA100-200 |
| Назначение | Промышленный |
| Ориентация | Любая |
| Разрешение | 5 µm |
| Серия | Z |
| Срок службы | 10000 циклов |
| Температура выпекания, °C | 230 |
| Точность | 5 µm |
| Шаг шарико-винтового привода | 2 мм / оборот |
| Страна | Германия |
| Производитель | Pfeiffer Vacuum |
