| Вибрация, мкм | 0,01 |
| Время разгона ротора, мин | 5 |
| Вход и выход | VG200, ICF253 , ISO200B / KF40 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^9 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4x10^3 |
| Коэффициент сжатия гелия | 8x10^4 |
| Модель | TMP-1003LMC |
| Назначение | Промышленный |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-10) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 180 |
| Серия | TMP-1003 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1080 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 790 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 930 |
| Температурный режим, °С | от 0 до 40 |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 35000 |
| Вес, кг | 32 |
| Страна | Япония |
| Производитель | Shimadzu |
