| Дополнительные функции | Специальные щелевые затворы L-MOTION и L-VAT для полупроводникового производства |
| Категория | Вакуумная арматура |
| Модель | 94 |
| Назначение | Промышленный |
| Страна | Швейцария |
| Производитель | VAT |
